Знання – Вакуумні клапани

I. Введення клапана
Вакуумний клапан - це компонент вакуумної системи, який використовується для зміни напрямку повітряного потоку, регулювання розміру газового потоку, відрізання або підключення трубопроводу у вакуумній системі.Запірні частини вакуумного клапана ущільнені гумовим або металевим ущільнювачем.

II.Загальні застосування вакуумного клапана.
Вакуумні клапани
Використовується в устаткуванні систем високого або надвисокого вакууму, коли необхідно підтримувати вакуум у закритій системі обробки вакууму.Вакуумні клапани використовуються для контролю надходження повітря у вакуумну камеру, ізоляції, вентиляції, забезпечення зниження тиску або контролю провідності.Засувки, вбудовані клапани та кутові клапани є найпоширенішими типами вакуумних клапанів, які використовуються для застосування з високим або надвисоким вакуумом.Додаткові типи клапанів включають поворотні клапани, передавальні клапани, кульові клапани, маятникові клапани, суцільнометалеві клапани, вакуумні клапани, алюмінієві кутові клапани, вакуумні клапани з тефлоновим покриттям і прямі клапани.

Поворотні клапани
швидко відкриваються клапани, що складаються з металевих дисків або лопаток, які повертаються під прямим кутом до напрямку потоку в трубопроводі, і при обертанні навколо своєї осі клапан ущільнює сідло в корпусі клапана.

Клапани перепускні (засувки прямокутні)
Розділові клапани, придатні для використання між вакуумними камерами із блокуванням навантаження та камерами перенесення, а також між камерами перенесення та камерами обробки в обладнанні для виробництва напівпровідників.

Вакуумні кульові крани
це прямопоточні клапани на чверть повороту з круглим вузлом закриття з відповідними круглими сідлами для рівномірного ущільнення.

Маятникові клапани
являє собою великий дросельний клапан, встановлений між технологічною вакуумною камерою та входом турбомолекулярного насоса.Ці вакуумні маятникові клапани зазвичай розроблені як шиберні або маятникові клапани для систем промислового виробництва OLED, FPD і PV.

Суцільнометалева арматура
Призначений для використання в середовищах з надвисоким вакуумом, де високі температури не дозволяють використовувати еластомери та кріогенні металеві прокладки.Суцільнометалеві клапани, які можна випікати, забезпечують надійну високотемпературну герметизацію від атмосферного тиску до нижче 10-11 мбар.

Вакуумні клапани
Надійно працюють у системах виробництва напівпровідників і в програмах із забрудненням хімічними речовинами та частинками.Вони можуть використовуватися в умовах грубого вакууму, високого або надвисокого вакууму.

Алюмінієві кутові крани
Вхідний і вихідний отвори цих клапанів розташовані під прямим кутом один до одного.Ці кутові клапани виготовлені з алюмінію A6061-T6 і використовуються у виробництві напівпровідників і приладобудування, науково-дослідних і дослідно-конструкторських роботах і промислових вакуумних системах для застосувань від грубого до високого вакууму.

Вакуумний клапан з тефлоновим покриттям — це повністю сконструйований вакуумний пристрій із нержавіючої сталі з міцним і високохімічно стійким покриттям.

III.Характеристика вакуумних клапанів.
Тиск нижче атмосферного, а падіння тиску на заслінці клапана не може перевищувати 1 кг сили/см.Робоча температура середовища залежить від технологічного процесу використовуваного пристрою.Температура зазвичай не перевищує -70 ~ 150°C.Найосновнішою вимогою до таких кранів є забезпечення високого ступеня герметичності з'єднання і щільності конструкції і матеріалу прокладки.

Відповідно до середнього тиску вакуумні клапани можна розділити на чотири групи.
1) Клапани низького вакууму: середній тиск p=760~1 мм рт.ст.
2）Клапани середнього вакууму: р=1×10-3 мм рт.ст.
3) Клапани високого вакууму: p=1×10-4 ~1×10-7 мм рт.ст.
4）Надвисоковакуумний клапан: p≤1×10-8 мм рт.ст.

В якості клапана закритого контуру з діаметром проходу менше 250 мм широко використовується шток вакуумного сильфонного запірного клапана з лінійним рухом.Засувки, однак, більш обмежені, але це в основному для великих діаметрів.Також доступні сферичні пробкові крани (кульові крани), плунжерні клапани та поворотні клапани.Пробкові клапани для вакуумних клапанів не рекламувалися, тому що вони вимагають мастила, що робить можливим потрапляння масляних парів у вакуумну систему, що є неприпустимим.Вакуумними клапанами можна керувати вручну та дистанційно в польових умовах, а також електрично, електромагнітно (соленоїдні клапани), пневматично та гідравлічно.