Beijing Super Q Technology Co., Ltd. має масляні молекулярні насоси 600L, 1200L, 1600L серії EV і молекулярні насоси турбінного типу 3600L;молекулярні насоси з мастилом 300 л, 650 л, 1300 л, 2000 л.Ця стаття зосереджена на поясненні характеристик, встановлення, використання та технічного обслуговування молекулярних насосів мастила серії EV-Z.
Характеристики будови
Мастильний молекулярний насос серії EV використовує імпортовані прецизійні керамічні підшипники, ротор насоса завдяки динамічному балансу, стабільну та надійну роботу, трифазний двигун із короткозамкнутим ротором, змащення підшипників мастилом, можна встановити в будь-якій орієнтації.
встановлення та використання
I. Про граничний тиск
«Кінцевий тиск» молекулярного насоса базується на міжнародному стандарті ISO «Метод випробування продуктивності турбомолекулярних насосів». Після повного випікання корпусу насоса та тестової кришки (48 годин сушіння та дегазації) найнижчий тиск, виміряний при задане положення тестової кришки.значення тиску.У фактичному використанні значення «граничного тиску» пов’язане з робочим тиском і ефективною швидкістю перекачування налаштованого резервного насоса.Вибір високопродуктивного опорного насоса є дуже корисним для отримання вищого вакууму та скорочення часу випуску.
Крім того, через особливість випускного принципу молекулярного насоса, впускний отвір насоса повинен бути якомога ширшим, а шлях газу від вакуумної камери до порту молекулярного насоса повинен уникати обертання настільки, наскільки це можливо. це можливо, щоб забезпечити найкращу ефективність молекулярного насоса та гарантовано вищий кінцевий вакуум.
II.монтаж
2.1 Відкрийте пакет
Перед встановленням перевірте, чи не було пошкоджено молекулярний насос під час транспортування.
Метод полягає в наступному: зверніться до інструкцій з джерела живлення молекулярного насоса, правильно підключіть його до молекулярного насоса, не потрібно пропускати воду або вакуум, запустіть молекулярний насос і перевірте, чи працює він і чи є будь-які ненормальний звук.Якщо є будь-яка несправність, натисніть вимикач зупинки вчасно, щоб зупинити насос.Примітка: під час пробної експлуатації частота живлення не повинна перевищувати 25 Гц
2.2 Підключення фланця високого вакууму
З’єднання молекулярного насоса можна підняти високовакуумним фланцем або закріпити на основі.Молекулярний насос має бути закріплений, коли високовакуумний фланець молекулярного насоса підключений до системи через металевий сильфон.
(Ущільнювальна поверхня фланця не має подряпин, а на ущільнювальному кільці нічого не повинно бути)
2.3 Передня лінія вакуумного з'єднання
Між форвакуумним насосом і молекулярним насосом слід встановити ізоляційний і випускний клапан, щоб механічний насос не повертав масло після вимкнення.
2.4 Підключення газозарядного пристрою
Щоб мати чисте вакуумне середовище, після зупинки молекулярного насоса вакуумну систему можна заповнити азотом або сухим повітрям.Як правило, вентиляційний клапан можна підключити до трубопроводу переднього ступеня, або клапан високого вакууму можна використовувати для випуску газу на кінці високого вакууму.
III.Підключення охолодження
Через високошвидкісне обертове тертя підшипника, нагрівання корпусу насоса та підвищення температури двигуна, підшипник і двигун повинні охолоджуватися під час роботи молекулярного насоса.Як правило, використовується повітряне охолодження, а водяне охолодження використовується, коли температура навколишнього середовища перевищує 38°C.Трубу для м’якої води із зовнішнім діаметром 10 мм можна безпосередньо під’єднати до входу та виходу води молекулярного насоса.Використовується система циркуляційного водопостачання з чистою водою, а також можливе використання водопровідної води з невеликою кількістю опадів (температура води повинна бути ≤28°C).
Випадкова зупинка подачі води або висока температура води змусить датчик температури корпусу молекулярного насоса спрацювати, а джерело живлення негайно подасть сигнал і припинить вихід.
Після несподіваного припинення подачі води або занадто високої температури до молекулярного насоса пролунає інтервал близько 15 хвилин (конкретний час залежить від швидкості підвищення температури), поки молекулярний насос не спрацює через перегрів.
IV.Випічка
Кінцевий тиск залежить від чистоти внутрішньої частини насоса та вакуумного тракту, включаючи вакуумну камеру.Щоб отримати граничний тиск за найкоротший час, вакуумну систему та молекулярний насос необхідно прожарити.Випікання має відбуватися при нормальному працюючому молекулярному насосі.
Температура запікання молекулярного насоса має бути нижчою за 80°C, фланець високого вакууму, з’єднаний з портом насоса, не повинен перевищувати 120°C, а температура запікання вакуумної системи, як правило, нижче 300°C.пошкодження.
Час запікання залежить від ступеня забруднення системи та молекулярного насоса та очікуваного граничного робочого тиску, але мінімальний час не повинен бути менше 4 годин.
Для отримання вакууму 10-4Па, в принципі, не потрібно запікання;для отримання вакууму 10-5Па достатньо лише запікання самої вакуумної системи;для отримання надвисокого вакууму вакуумну систему та молекулярний насос зазвичай потрібно випікати одночасно.Вимірювальна система повинна бути повністю пропечена, інакше це вплине на точність вимірювальних даних через її виділення газів.
V.Операція
Переконайтеся, що попередній вакуум перевищує 15 Па, натисніть клавішу RON, щоб запустити молекулярний насос, і натисніть клавішу STOP, щоб зупинити роботу після використання.Увага!Клавішу плавного запуску слід використовувати для першого використання або повторного використання після тривалого простою.Операція плавного пуску полягає в наступному: поточний рівень вакууму перевищує 15 Па, і натиснута клавіша плавного пуску.Через 110 хвилин молекулярний насос досягає робочої частоти 550 Гц (550 Гц відповідає молекулярному насосу EV300Z, 400 Гц відповідає молекулярному насосу EV650Z, 1300Z, 2000), потім натисніть клавішу плавного запуску (клавіша вгорі), щоб зупинити плавний насос. початок.
（Під час нормальної роботи молекулярного насоса заборонено переносити, переміщувати або заповнювати повітрям.）
VI.Технічне обслуговування та ремонт
6.1 Очищення насоса
Якщо витік повітря та швидкість десорбції вакуумної системи не змінюються, і продуктивність вакууму не може бути відновлена навіть після тривалого часу випікання, або коли резервний насос серйозно повертає масло, насос слід очистити.
（Якщо насос потребує ремонту та очищення, його має розібрати професійний технік.Якщо його розібрати без навчання, ви несете наслідки.）
6.2 Заміна підшипників
Оскільки насос потребує балансування, користувач не може замінити підшипник.
6.3 Захист від ударів
Молекулярний насос - це високошвидкісна машина, що обертається.Зазор між рухомою та нерухомою пластинами дуже малий і не витримує надмірного удару.Швидкість і прискорення рухомого носія при контакті з ним повинні бути обмежені.Крім того, раптовий вплив атмосферного об’єму та падіння зовнішніх твердих предметів під час нормальної роботи молекулярного насоса також призведе до серйозного пошкодження молекулярного насоса.
6.4 Віброізоляція
Зазвичай молекулярний насос пройшов сувору перевірку, і вібрація дуже мала, і його можна безпосередньо підключити до насосної системи.Для застосування високоточних приладів (таких як електронні мікроскопи тощо) рекомендується використовувати віброізолятори, щоб мінімізувати вплив вібрації на інструмент.
6.5 Екранування сильного магнітного поля
Ротор, що обертається, створює вихровий струм у магнітному полі, який спричиняє нагрівання ротора.Оскільки тепло послабить міцність алюмінієвого матеріалу, застосування молекулярного насоса в магнітному полі обмежено певною мірою.
6.6 електромагнітні перешкоди
Певні високочастотні прилади, наприклад молекулярні насоси та перетворювачі частоти, можуть створювати електромагнітні перешкоди навколишньому середовищу.Але в разі відповідності міжнародним стандартам застосування молекулярних насосів не обмежиться.При дотриманні вимог одночасно повинні бути видані відповідні сертифікати.
6.7 Сильне обмеження радіоактивності
Більшість матеріалів змінюють свої властивості в сильному радіоактивному середовищі, особливо органічні матеріали (такі як молекулярне масло для насосів, ущільнювальні кільця) і напівпровідникові компоненти.Молекулярний насос може протистояти інтенсивності випромінювання 105 рад.Вибравши антирадіоактивні матеріали та використовуючи джерело живлення з приводом від двигуна, можна покращити захист від радіації.Під час перекачування тритію, щоб запобігти витоку радіоактивного елемента тритію в атмосферу, усі ущільнювальні кільця в молекулярному насосі повинні бути виготовлені з металевих матеріалів
6.8 Форвалентний насос
На кінці високого тиску кривої продуктивності молекулярного насоса вхідний тиск коливається приблизно від 200 Па до 10-1 Па, охоплюючи три порядки величини.Довжина вільного пробігу молекул газу стає меншою, і ефект накачування починає погіршуватися.Отже, у перехідній зоні чим більше використовується опорний насос, тим більша швидкість відкачування молекулярного насоса.Подача форвакуумного насоса повинна бути мінімум 3 л/с.
Поширені несправності та усунення несправностей
Компаундовий молекулярний насос із мастилом серії EV-Z — це механічний вакуумний насос, який забезпечує відкачування повітря за допомогою відносно високошвидкісного обертання багатоступеневих динамічних і статичних лопатей турбіни.Турбомолекулярний насос має характеристики високої швидкості накачування та високого коефіцієнта стиснення в області молекулярного потоку, він є більш енергозберігаючим, ніж дифузійний насос, і не має забруднення нафтою та парою.Компаундовий молекулярний насос із мастилом серії EV — це молекулярний насос із найбільшою швидкістю накачування 100 калібрів у Китаї.
Цей молекулярний насос не має селективності та ефекту пам’яті щодо газу, який перекачується.Завдяки високому ступеню стиснення газу з великою молекулярною масою насос може отримувати чистий високий і надвисокий вакуум без холодних пасток і масляних перегородок..Він широко використовується в різних галузях електроніки, металургії, хімічної промисловості, наукових досліджень і вакуумної техніки.
Час публікації: 01 липня 2022 р