Контролер масової витрати теплового газу (MFC)
Thermводоростіmдупаfнизькийmeter(MFM)isakпромofaccuratemeasuремentofgasflow,the measuredvaluesarenotconтроlledbyfluctuationsinтемпperatуреорпрessну, не потрібноtгекompensationoftemperatуреandpressure.
Модель | SQC-100 |
Діапазон потоку (N2) | 0~5,10,20,30 ,50,100 ,200,500SCCM |
0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM | |
Точність | ±1% FS(≤15SLM);±2%FS(>15SLM);±2%FS(>15SLM) |
Тип приводу клапана | Нормальний закритий |
Лінійність | ±1% FS(≤15SLM);±2%FS(>15SLM);±2%FS(>15SLM) |
Повторюваність | ±0,2% FS |
Час реакції | ≤1 сек |
Вхідний/вихідний сигнал | 0~5В |
Електричний стик | Шпилька DB15 (голка) |
Операція Тем. | 5 ~ 45 ℃ |
Диференціал Pre. | 0,05 ~ 0,5 МПа (MFC); 0,03~3,0 МПа (MFM) |
Швидкість витоку | 1×10-8SCCS (He) |
Макс.Тиск | 3 МПа |
Середній матеріал | 316L SS та ущільнювальний матеріал |
Ущільнювальний матеріал | Вітон, силіконова гума, NBR, тефлон, металеве ущільнення. |
Розмір суглоба | Відеомагнітофон 1/4”;Swagelok 1/8” 、1/4”;φ3、 φ6 мм |
Джерело живлення | +15В,50мА;-15В,200мА |
Модель | SQC-200 |
Діапазон потоку (N2) | MFC: 0~20,30,50,100,150,200SLM |
MFM: 0~20,30,50,100,150,200,250,300SLM | |
Точність | ±2% FS |
Тип приводу клапана | Нормальний закритий |
Лінійність | ±2% FS |
Повторюваність | ±0,2% FS |
Час реакції | ≤5 сек |
Вхідний/вихідний сигнал | 1~5V;4~20mA |
Електричний стик | Шпилька DB15 (голка) |
Операція Тем. | 5 ~ 45 ℃ |
Диференціал Pre. | 0,1~0,3 МПа(MFC); 0,05~3,0 МПа(MFM) |
Швидкість витоку | 1×10-8SCCS (He) |
Макс.Тиск | 3 МПа |
Середній матеріал | 316L SS та ущільнювальний матеріал |
Ущільнювальний матеріал | Viton, силіконова гума, NBR, ERP, тефлон |
Розмір суглоба | Swagelok 3/8” 、1/2”; φ8、φ10、φ12 мм |
Джерело живлення | 24 В, 0,5 А |
Напишіть своє повідомлення тут і надішліть його нам