Вакуумний насос Roots серії ZJ
Вакуумний насос Roots серії ZJ
Ця серія вакуумних насосів типу Roots не може використовуватися окремо.Його потрібно використовувати послідовно з вакуумним насосом попереднього ступеня, щоб збільшити швидкість накачування вакуумного насоса попереднього ступеня, коли тиск нижчий за 1,3×103~1,3×10-1 Па. Структура складається з двох 8 -подібні секції ротора і корпус ротора, причому два ротори не контактують один з одним і обертаються в протилежних напрямках синхронно один з одним.
Вакуумні насоси Roots серії ZJ в основному застосовуються для:
PVD покриття, магнетронне напилення, іонне покриття, оптичне покриття тощо;
Монокристалічна піч, полікристалічна піч, піч для спікання, піч для відпалу, піч для гасіння тощо;
Вакуумна сушка, сублімаційна сушка, система виявлення витоків, система відновлення газу, ін'єкція рідких кристалів тощо;
Вакуумна промисловість, така як холодильники, побутові кондиціонери, центральні кондиціонери, автоматичні лінії евакуації для підсвічування та витяжне обладнання.
| Модель | ZJ-30 | ZJ-70 | ZJ-150 | ZJ-300 | ||
| Швидкість відкачування3/год (л/хв) | 50 Гц | 100 (1667) | 280 (4670) | 500 (8330) | 1000 (16667) | |
| 60 Гц | 120 (2000) | 330 (5500) | 600 (1000) | 1200 (20000) | ||
| Макс.вхідний тиск (при безперервній роботі) | 50 Гц | 1,2X103 | 1,3X103 | |||
| 60 Гц | 9,3X102 | 1,1X103 | ||||
| Максимально допустимий перепад тиску (Па) | 50 Гц | 4X103 | 7,3X103 | |||
| 60 Гц | 3,3X103 | 6X103 | ||||
| Кінцевий тиск (Па) | 1X10-1 | |||||
| Стандартний грубий насос m3/h | 16 | 40, 60 | 90, 150 | 150, 240 | ||
| Двигун (2 полюси) кВт | 0,4 | 0,75 | 2.2 | 3.7 | ||
| Специфікація мастила | Вакуумний насосолія | |||||
| Ємність масла Л | 0,4 | 0,8 | 1.6 | 2.0 | ||
| Охолоджуюча вода | Потік л/хв | / | 2*1 | 2 | 3 | |
| Перепад тиску МПа | / | 0,1 | ||||
| Температура води0C | / | 5-30*2 | ||||
| Вага, кг | 30 | 51 | 79,5 | 115 | ||
| Діаметр входумм | 50 | 80 | 80 | 100 | ||
| Діаметр виходу.мм | 50 | 80 | 80 | 80 | ||
