ماس فلو کنٹرولر ماس فلو میٹر CS200
خصوصیات
1. اعلی درستگی اور تیز ردعمل
CS200 MFC کی درستگی کو بہتر کر کے ±1.0% SP کر دیا گیا ہے، اور جدید ترین ماڈلز کا جوابی وقت 0.8 سیکنڈ سے کم ہے۔
2. کم صفر بہاؤ اور درجہ حرارت کا گتانک
نئی سینسر ٹیکنالوجی کی ایجاد CS200 MFC کو استحکام برقرار رکھنے اور درجہ حرارت کے اتار چڑھاو کو برداشت کرنے کے قابل بناتی ہے۔آٹو-زیرو ایمپلیفائر کے بغیر، متوقع صفر بہاؤ 0.6%FS/سال سے کم ہے، اور درجہ حرارت کا گتانک 0.02%FS/℃(zero)，0.05%FS/℃ (span) سے کم ہے۔
3. دھاتی مہربند ماڈل اور اعلی طہارت کی خصوصیت
CS200 MFC کا گیلا بہاؤ راستہ سطح سے گزرنے والے سٹینلیس سٹیل سے بنایا گیا ہے۔تمام CS200 MFCs کو Sevenstar کے الٹرا کلین کلاس 100 کلاس کلین رومز میں SEMI اور ISO 9001 دونوں معیارات کے مطابق جمع کیا گیا ہے۔
4. ہم آہنگ انٹرفیس
CS200 MFC مندرجہ ذیل انٹرفیس کے ساتھ مطابقت رکھتا ہے، جسے صارف منتخب کر سکتا ہے: ±8V-±16V ڈبل اینڈ پاور سپلائی اور +14V-+28V سنگل اینڈ پاور سپلائی؛ڈیجیٹل یا اینالاگ سگنل ان پٹ اور آؤٹ پٹ؛SEMI معیاری مکینیکل طول و عرض؛اور RS-485 یا DeviceNet کمیونیکیشن ماڈیول۔
5. متفرق افعال
طاقتور کسٹمر سافٹ ویئر ہر ماڈل کے ساتھ معیاری آتا ہے، جبکہ اضافی فنکشنز جیسے ملٹی گیس，ملٹی رینج，آٹو صفر، الارم، سافٹ سٹارٹ اور تاخیر کسٹمر کے انتخاب کے طور پر دستیاب ہیں۔
تفصیلات
| CS200 | |||||||
| قسم | CS200A | CS200C | CS200D | ||||
| مکمل پیمانے کی حد (N2) | ( 0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | ( 0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | |||||
| (0～1,2,3,5,10,20,30,50)SLM | ( 0～1,2,3,5,10,20,30)SLM | ||||||
| درستگی | ±1.0% SP (≥35% FS) ±0.35% FS؟(＜35% FS) | ||||||
| لکیریت | ±0.5% FS | ||||||
| تکراری قابلیت | ±0.2% FS | ||||||
| جواب وقت | ≤1 سیکنڈ | ≤0.8 سیکنڈ (SEMI E17-0600) | |||||
| والو ریسٹ پوزیشن | عام طور پر بند یا | کوئی والو نہیں ہے۔ | عام طور پر بند یا | کوئی والو نہیں ہے۔ | عام طور پر بند یا | کوئی والو نہیں ہے۔ | |
| عام طور پر کھلا (100 sccm≤FS≤5 slm） | عام طور پر کھلا (100 sccm≤FS≤5 slm） | عام طور پر کھلا (100 sccm≤FS≤5 slm） | |||||
| تفریق دباؤ | 0.05～0.35MPa （Flow≤10slm） | ＜0.02MPa | (0.05～0.35) MPa（≤10slm） | ＜0.02MPa | (0.05～0.35) MPa（≤10slm） | ＜0.02MPa | |
| 0.1～0.35MPa（10slm＜Flow≤30slm） | (0.1～0.35) MPa（～10slm） | (0.1～0.35) MPa（～10slm） | |||||
| 0.2～0.45MPa （بہاﺅ＞30slm） | |||||||
| زیادہ سے زیادہ آپریٹنگ پریشر | 0.45MPa | |||||
| درجہ حرارت | صفر:≤±0.05% FS/℃; | صفر:≤±0.02% FS/℃;اسپین:≤±0.05% FS/℃ | ||||
| عددی سر | دورانیہ: ≤±0.1% FS/℃（Flow≤30slm） | |||||
| دورانیہ: ≤±0.2% FS/℃（بہاؤ>30slm） | ||||||
| پروف پریشر | 3MPa (435pisg) | |||||
| زیرو ڈرفٹ | ＜0.6%FS فی سال بغیر آٹوزیرو کے | |||||
| لیک سالمیت | 1×10-9 atm·cc/sec He | 1×10-10atm·cc/sec He | ||||
| گیلا مواد | ویٹون؛ | دھات؟(سٹینلیس سٹیل V/V, 5Ra) | دھات | |||
| سطح کی کیمسٹری | —— | Cr/Fe تناسب ＞2.0؛CrO موٹائی ＞20 انگسٹروم | ||||
| سطح ختم | 25Ra | 10Ra | 25Ra | |||
| آپریشن کا درجہ حرارت | (5～45)℃ | (0～50) ℃ | ||||
| ان پٹ سگنل | ڈیجیٹل: RS485 یا ProfiBus | N / A | ڈیجیٹل: RS485 یا ProfiBus یا DeviceNetTM | N / A | ڈیجیٹل: RS485 یا ProfiBus یا DeviceNetTM | N / A |
| یا DeviceNetTM | اینالاگ:(0～5)VDC یا (4～20)mA یا (0～20)mA | اینالاگ:(0～5)VDC یا (4～20)mA؟یا (0～20)mA | |||||
| اینالاگ:(0～5)VDC یا (4～20)mA یا (0～20)mA | |||||||
| آؤٹ پٹ سگنل | ڈیجیٹل: RS485 یا DeviceNetTM یا ProfiBus اینالاگ:(0～5)VDC یا (4～20)mA یا (0～20)mA | ||||||
| بجلی کی فراہمی | ±8 ~ ±16 VDC یا +14 ~ +28 VDC(400mA) | ||||||
| الیکٹرانک کنیکٹر | 9 پن مرد ذیلی D ， 15 پن مرد ذیلی D ， ڈیوائس نیٹ ٹی ایم,پروفی بس، اینالاگ | ||||||
| متعلقہ اشیاء | VCR1/4" M； VCO1/4" M； | VCR1/4"M; | |||||
| کمپریشن فٹنگΦ10؛ کمپریشن فٹنگΦ6； | کمپریشن فٹنگΦ6، | ||||||
| کمپریشن فٹنگ 3/8"؛کمپریشن فٹنگ 1/4” | کمپریشن فٹنگΦ3، | ||||||
| کمپریشن فٹنگ 1/8"؛کمپریشن فٹنگΦ3； | کمپریشن فٹنگ 1/4”، | ||||||
| Ф6(اندرونی) × 1 نلی؛ ф5 (اندرونی) × 1.5 نلی؛ ф4 (اندرونی) × 1 نلی؛ | ڈبلیو سیل، | ||||||
| اے سیل ؛ | سی مہر | ||||||
| وزن | 1 کلو | 0.8 کلوگرام | 1.2 کلوگرام | 1 کلو | 1.2 کلوگرام | 1 کلو | |
