Mass Flow Controller Mass Flow Meter CS200
Xususiyatlari
1. Yuqori aniqlik va tezkor javob
CS200 MFC aniqligi SP ning ±1,0% gacha yaxshilandi va eng ilg'or modellarda javob berish vaqti 0,8 sekdan kamroq qisqartirildi.
2. Past nol Drift va harorat koeffitsienti
Yangi sensor texnologiyasi ixtirosi CS200 MFC ga barqarorlikni saqlash va harorat o'zgarishiga bardosh berish imkonini beradi.Avtomatik nol kuchaytirgich bo'lmasa, kutilgan nol drift yiliga 0,6% FS dan kamroq va harorat koeffitsienti 0,02% FS / ℃ (nol) ， 0,05% FS / ℃ (span) dan kam.
3. Metall muhrlangan modellar va yuqori tozalik xususiyati
CS200 MFC liniyasining namlangan oqim yo'li sirtdan passivlangan zanglamaydigan po'latdan yasalgan.Barcha CS200 MFC’lar Sevenstar’ning SEMI va ISO 9001 standartlariga muvofiq 100-sinfdagi ultra toza xonalarida yig‘ilgan.
4. Mos keladigan interfeyslar
CS200 MFC mijoz tomonidan tanlanishi mumkin bo'lgan quyidagi interfeyslarga mos keladi:±8V-±16V ikki tomonlama quvvat manbai va +14V-+28V bitta uchli quvvat manbai;raqamli yoki analog signalni kiritish va chiqarish;SEMI standart mexanik o'lchamlar;va RS-485 yoki DeviceNet aloqa moduli.
5. Turli funktsiyalar
Kuchli mijozlar dasturiy ta'minoti har bir modelda standart bo'lib keladi, shu bilan birga ko'p gazli, ko'p diapazonli, avtomatik nol, signalizatsiya, yumshoq ishga tushirish va kechikish kabi qo'shimcha funktsiyalar mijozning tanlovi sifatida mavjud.
Spetsifikatsiya
| CS200 | |||||||
| Turi | CS200A | CS200C | CS200D | ||||
| Toʻliq masshtab diapazoni (N2) | ( 0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | ( 0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | |||||
| ( 0～1,2,3,5,10,20,30,50)SLM | ( 0～1,2,3,5,10,20,30)SLM | ||||||
| Aniqlik | ±1,0% SP (≥35% FS) ±0,35% FS?(＜35% FS) | ||||||
| Chiziqlilik | ±0,5% FS | ||||||
| Takroriylik | ±0,2% FS | ||||||
| Javob vaqti | ≤1sek | ≤0,8 sek (SEMI E17-0600) | |||||
| Valfning dam olish holati | Odatda yopiq yoki | Valf yo'q | Odatda yopiq yoki | Valf yo'q | Odatda yopiq yoki | Valf yo'q | |
| Odatda ochiq（100 sccm≤FS≤5 slm） | Odatda ochiq（100 sccm≤FS≤5 slm） | Odatda ochiq（100 sccm≤FS≤5 slm） | |||||
| Differensial bosim | 0,05～0,35MPa （Oqim≤10slm） | ＜0,02 MPa | (0,05～0,35) MPa（≤10slm） | ＜0,02 MPa | (0,05～0,35) MPa（≤10slm） | ＜0,02 MPa | |
| 0,1～0,35MPa（10slm＜Oqim≤30slm） | (0,1～0,35) MPa（＞10slm） | (0,1～0,35) MPa（＞10slm） | |||||
| 0,2～0,45MPa （Oqim＞30slm） | |||||||
| Maksimal ish bosimi | 0,45 MPa | |||||
| Harorat | Nol: ≤±0,05% FS/℃; | Nol: ≤±0,02% FS/℃;Oraliq: ≤±0,05% FS/℃ | ||||
| Koeffitsient | Oqim: ≤±0,1% FS/℃（Oqim≤30slm） | |||||
| Oraliq: ≤±0,2% FS/℃（Oqim>30slm） | ||||||
| Isbot bosimi | 3MPa (435pisg) | |||||
| Zero Drift | ＜Avtonozsiz yiliga 0,6% FS | |||||
| Oqish yaxlitligi | 1×10-9 atm·cc / sek U | 1×10-10atm·cc / sek U | ||||
| Namlangan materiallar | Viton; | Metall? (zanglamaydigan po'lat V/V, 5Ra) | Metall | |||
| Yuzaki kimyo | —— | Cr/Fe nisbati ＞2,0;CrO qalinligi ＞20 Angstrom | ||||
| Yuzaki tugatish | 25Ra | 10Ra | 25Ra | |||
| Ishlash harorati | （5～45）℃ | （0～50）℃ | ||||
| Kirish signali | Raqamli: RS485 yoki ProfiBus | Yoʻq | Raqamli: RS485 yoki ProfiBus yoki DeviceNetTM | Yoʻq | Raqamli: RS485 yoki ProfiBus yoki DeviceNetTM | Yoʻq |
| yoki DeviceNetTM | Analog:(0～5)VDC yoki (4～20)mA yoki (0～20)mA | Analog:(0～5)VDC yoki (4～20)mA yoki (0～20)mA | |||||
| Analog:(0～5)VDC yoki (4～20)mA yoki (0～20)mA | |||||||
| Chiqish signali | Raqamli: RS485 yoki DeviceNetTM yoki ProfiBus Analog:(0～5)VDC yoki (4～20)mA yoki (0～20)mA | ||||||
| Quvvatlantirish manbai | ±8 ~ ±16 VDC yoki +14 ~ +28 VDC (400mA) | ||||||
| Elektron ulagich | 9 pinli erkak sub-D ， 15 pinli erkak sub-D ， DeviceNetTM,ProfiBus ， Analog | ||||||
| Fittinglar | VCR1/4” M； VCO1/4” M； | VCR1/4” M; | |||||
| Siqish moslamasiPH 10; Siqish moslamasi PH6; | Siqish moslamasiPH6, | ||||||
| Siqish moslamasi 3/8";Siqish moslamasi1/4"； | Siqish moslamasi3, | ||||||
| Siqish moslamasi1/8";Siqish moslamasi3； | Siqish moslamasi 1/4 "， | ||||||
| F6(ichki)×1shlang;f5(ichki)×1,5shlang;f4(ichki)×1shlang; | W-muhr, | ||||||
| A-sael; | C-muhr | ||||||
| Og'irligi | 1kg | 0,8 kg | 1,2 kg | 1kg | 1,2 kg | 1kg | |
