Mass Flow Controllers (MFC) gazlarning massa oqimini aniq o'lchash va nazorat qilishni ta'minlaydi.
I. MFC va MFM o'rtasidagi farq nima?
Ommaviy oqim o'lchagich (MFM) gaz oqimini aniq o'lchaydigan asbob turi bo'lib, uning o'lchov qiymati harorat yoki bosimning o'zgarishi tufayli noto'g'ri emas va harorat va bosim kompensatsiyasini talab qilmaydi. Mass oqim regulyatori (MFC) nafaqat massaviy oqim o'lchagich funktsiyasiga ega, lekin bundan ham muhimi, u gaz oqimini avtomatik ravishda boshqarishi mumkin, ya'ni foydalanuvchi o'z ehtiyojlariga ko'ra oqimni sozlashi mumkin va MFC avtomatik ravishda oqimni belgilangan qiymatda ushlab turadi, hatto tizim bosimi Atrof-muhit haroratining o'zgarishi yoki o'zgarishi uning belgilangan qiymatdan chetga chiqishiga olib kelmaydi.Ommaviy oqim regulyatori barqaror oqim qurilmasi bo'lib, u qo'lda sozlanishi yoki kompyuterga ulanish orqali avtomatik ravishda boshqarilishi mumkin bo'lgan gaz barqaror oqim qurilmasi.Ommaviy oqim o'lchagichlari faqat o'lchaydi, lekin nazorat qilmaydi.Ommaviy oqim regulyatorida gaz oqimini o'lchash va boshqarish mumkin bo'lgan nazorat valfi mavjud.
II.Tuzilishi nima vaishlash printsipi?
1, tuzilishi
2, Operatsion printsipi
Oqim qabul qilish trubasiga kirganda, oqimning ko'p qismi diverter kanalidan o'tadi, uning kichik qismi sensori ichidagi kapillyar trubaga kiradi.ning maxsus tuzilishi tufayli
yo'naltiruvchi kanal, gaz oqimining ikki qismi to'g'ridan-to'g'ri proportsional bo'lishi mumkin.Sensor oldindan isitiladi va isitiladi va ichidagi harorat kirish havosining haroratidan yuqori.Bu vaqtda gazning kichik qismining massa oqimi kapillyar naycha orqali issiqlik uzatish printsipi va harorat farqi kalorimetriyasi printsipi bilan o'lchanadi.Shu tarzda o'lchangan gaz oqimi harorat va bosim ta'sirini e'tiborsiz qoldirishi mumkin.Sensor tomonidan aniqlangan oqim o'lchash signali elektron plataga kiritiladi va kuchaytiriladi va chiqariladi va MFM funktsiyasi tugallanadi.PID yopiq pastadir avtomatik boshqaruv funktsiyasini elektron plataga qo'shish, sensor tomonidan o'lchangan oqim o'lchash signalini foydalanuvchi tomonidan berilgan o'rnatilgan signal bilan solishtiring.Bunga asoslanib, nazorat valfi oqimni aniqlash signali o'rnatilgan signalga teng bo'lishi uchun boshqariladi, shuning uchun MFC funktsiyasini amalga oshiradi.
III.Ilovalar va xususiyatlar.
Yarimo'tkazgichlar va IC ishlab chiqarish, maxsus materialshunoslik, kimyo sanoati, neft sanoati, farmatsevtika sanoati, atrof-muhitni muhofaza qilish va vakuum tizimini tadqiq qilish va boshqalar kabi sohalarda keng qo'llaniladigan MFC. Odatiy dasturlarga quyidagilar kiradi: diffuziya kabi mikroelektron texnologik uskunalar. , oksidlanish, epitaksiya, CVD, plazma qirqish, püskürtme, ion implantatsiyasi;vakuumli cho'kma uskunalari, optik tolali eritish, mikroreaktsiya uskunalari, aralashtirish va moslashtirish gaz tizimi, kapillyar oqimni boshqarish tizimi, gaz xromatografi va boshqa analitik asboblar.
MFC yuqori aniqlik, mukammal takrorlanish, tezkor javob, yumshoq ishga tushirish, yaxshi ishonchlilik, ish bosimining keng diapazonlarini (yuqori bosim va vakuum sharoitida yaxshi ishlash), oddiy qulay ishlashni, moslashuvchan o'rnatishni, avtomatik ravishda amalga oshirish uchun kompyuterga ulanishni olib keladi. foydalanuvchilar tizimini boshqarish.
IV.Qanday aniqlash va f bilan shug'ullanishkasalliklar?
Bizning kompaniyamiz sotishdan keyingi professional muhandisga ega, o'rnatish va foydalanishdagi muammolarni hal qilishga yordam beradi.
Xabar vaqti: 29-iyul-2022