Bilim - vakuum klapanlari

I. Valfning kiritilishi
Vakuum klapan havo oqimi yo'nalishini o'zgartirish, gaz oqimi hajmini sozlash, vakuum tizimidagi quvur liniyasini kesish yoki ulash uchun ishlatiladigan vakuum tizimining tarkibiy qismidir.Vakuum klapanining yopish qismlari kauchuk muhr yoki metall muhr bilan yopiladi.

II.Umumiy vakuumli vana ilovalari.
Vakuumli klapanlar
Vakuum yopiq vakuumli ishlov berish tizimida saqlanishi kerak bo'lganda yuqori yoki o'ta yuqori vakuumli tizim uskunalarida qo'llaniladi.Vakuum klapanlari vakuum kamerasiga havo oqimini boshqarish, izolyatsiya qilish, shamollatish, bosimni pasaytirish yoki o'tkazuvchanlikni boshqarish uchun ishlatiladi.Darvoza klapanlari, Inline klapanlari va burchakli klapanlar yuqori yoki ultra yuqori vakuum ilovalari uchun ishlatiladigan vakuum klapanlarining eng keng tarqalgan turlaridir.Qo'shimcha vana turlariga kelebek klapanlar, uzatish klapanlari, sharli klapanlar, sarkaç klapanlari, to'liq metall klapanlar, vakuum klapanlari, alyuminiy burchakli klapanlar, teflon bilan qoplangan vakuum klapanlari va to'g'ridan-to'g'ri klapanlar kiradi.

Kelebek klapanlar
quvur liniyasidagi oqim yo'nalishiga to'g'ri burchak ostida aylanadigan metall disklar yoki qanotlardan tashkil topgan tez ochiladigan valflar va o'z o'qi bo'ylab aylantirilganda, valf vana tanasidagi o'rindiqni muhrlab qo'yadi.

O'tkazish klapanlari (to'rtburchaklar eshik klapanlari)
Yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarish uskunalarida yukni qulflangan vakuum kameralari va uzatish kameralari o'rtasida, shuningdek uzatish kameralari va ishlov berish kameralari o'rtasida foydalanish uchun mos bo'lgan ajratish klapanlari.

Vakuumli sharli klapanlar
Bir xil sızdırmazlık kuchlanishi uchun mos dumaloq o'rindiqlarga ega bo'lgan chorak burilishli tekis oqim klapanlari.

Sarkaç klapanlari
texnologik vakuum kamerasi va turbomolekulyar nasosning kirish qismi o'rtasida o'rnatilgan katta gaz kelebeği klapanidir.Ushbu vakuum sarkaç klapanlari odatda OLED, FPD va PV sanoat ishlab chiqarish tizimlarini o'z ichiga olgan ilovalar uchun eshik yoki sarkaç klapanlari sifatida ishlab chiqilgan.

To'liq metall klapanlar
Yuqori haroratlar elastomerlar va kriyojenik qistirmali metallardan foydalanishga imkon bermaydigan ultra yuqori vakuumli muhitda foydalanish uchun mo'ljallangan.Pishirish mumkin bo'lgan to'liq metall klapanlar atmosfera bosimidan 10-11 mbargacha bo'lgan yuqori haroratli ishonchli muhrlanishni ta'minlaydi.

Vakuumli klapanlar
Yarimo'tkazgich ishlab chiqarish tizimlarida va kimyoviy va zarrachalar bilan ifloslangan ilovalarda ishonchli ishlang.Ular qo'pol vakuum, yuqori vakuum yoki ultra yuqori vakuumli muhitda ishlatilishi mumkin.

Alyuminiy burchakli klapanlar
Ushbu klapanlarning kirish va chiqish joylari bir-biriga to'g'ri burchak ostida joylashgan.Ushbu burchakli klapanlar alyuminiy A6061-T6 dan tayyorlangan va yarimo'tkazgichlar va asboblarni ishlab chiqarishda, ilmiy-tadqiqot va sanoat vakuum tizimlarida qo'pol va yuqori vakuumli ilovalar uchun ishlatiladi.

Teflon bilan qoplangan vakuum valfi bardoshli va yuqori kimyoviy chidamli qoplamaga ega bo'lgan to'liq ishlab chiqilgan zanglamaydigan po'latdan yasalgan vakuum komponenti qurilmasi.

III.Vakuum klapanlarining xususiyatlari.
Bosim atmosfera bosimidan past va valf qopqog'i bo'ylab bosim tushishi 1 kg kuch / sm dan oshmasligi kerak.Muhitning ish harorati ishlatiladigan qurilma jarayoniga bog'liq.Harorat odatda -70 ~ 150 ° C oralig'idan oshmaydi.Bunday klapanlar uchun eng asosiy talab ulanishning yuqori darajada zichligini va strukturaning va qistirma materialining zichligini ta'minlashdir.

O'rta bosimga ko'ra vakuum klapanlarini to'rt guruhga bo'lish mumkin.
1) Past vakuumli klapanlar: o'rtacha bosim p=760~1 mmHg.
2）Oʻrta vakuumli klapanlar: p=1×10-3 mmHg.
3）Yuqori vakuumli klapanlar: p=1×10-4 ~1×10-7 mmHg.
4）Ultra yuqori vakuumli klapan: p≤1×10-8 mmHg.

O'tish diametri 250 mm dan kam bo'lgan yopiq tutashuvli valf sifatida keng qo'llaniladigan novda chiziqli harakatga ega vakuumli o'chirish klapanidir.Biroq, eshik vanalari ko'proq cheklangan, ammo bu asosan katta diametrlar uchun.Bundan tashqari, sferik tiqin klapanlari (ball valflar), pistonli valflar va kelebek valflar mavjud.Vakuum klapanlari uchun vilkalar klapanlari targ'ib qilinmadi, chunki ular yog 'moylashni talab qiladi, bu esa yog' bug'ining vakuum tizimiga kirishiga imkon beradi, bunga ruxsat berilmaydi.Vakuum klapanlari dala sharoitida qo'lda va masofadan turib, shuningdek, elektr, elektromagnit (solenoid klapanlar), pnevmatik va gidravlik usullar bilan boshqarilishi mumkin.