Bộ điều khiển lưu lượng lớn（MFC) cung cấp phép đo và kiểm soát chính xác lưu lượng khí lớn.
I. Sự khác biệt giữa MFC và MFM là gì?
Đồng hồ đo lưu lượng khối (MFM) là một loại thiết bị đo chính xác lưu lượng khí và giá trị đo của nó không chính xác do sự dao động của nhiệt độ hoặc áp suất và không yêu cầu bù nhiệt độ và áp suất. Bộ điều khiển lưu lượng khối (MFC) không chỉ có chức năng của máy đo lưu lượng khối, nhưng quan trọng hơn là nó có thể tự động điều khiển lưu lượng khí, nghĩa là người dùng có thể đặt lưu lượng theo nhu cầu của mình và MFC tự động giữ lưu lượng không đổi ở giá trị đã đặt, ngay cả khi áp suất hệ thống Những biến động hoặc thay đổi về nhiệt độ môi trường sẽ không làm cho nó sai lệch so với giá trị đã đặt.Bộ điều khiển lưu lượng khối là một thiết bị lưu lượng ổn định, là thiết bị lưu lượng khí ổn định có thể được cài đặt thủ công hoặc điều khiển tự động bằng cách kết nối với máy tính.Đồng hồ đo lưu lượng khối chỉ đo chứ không kiểm soát.Bộ điều khiển lưu lượng lớn có van điều khiển, vừa có thể đo vừa điều khiển lưu lượng khí.
II.Cấu trúc là gì vàNguyên tắc hoạt động?
1, Cấu trúc
2, Nguyên tắc hoạt động
Khi dòng chảy đi vào ống nạp, phần lớn dòng chảy đi qua kênh chuyển hướng, một phần nhỏ đi vào ống mao dẫn bên trong cảm biến.Do cấu tạo đặc biệt của
kênh chuyển hướng, hai phần của dòng khí có thể tỷ lệ thuận.Cảm biến được làm nóng trước và làm nóng, nhiệt độ bên trong cao hơn nhiệt độ của không khí vào.Tại thời điểm này, lưu lượng khối của phần nhỏ khí được đo bằng nguyên lý truyền nhiệt bằng ống mao dẫn và nguyên lý đo nhiệt lượng chênh lệch nhiệt độ.Dòng khí đo theo cách này có thể bỏ qua ảnh hưởng của nhiệt độ và áp suất.Tín hiệu đo lưu lượng được cảm biến phát hiện được đưa vào bảng mạch rồi khuếch đại và xuất ra, chức năng của MFM được hoàn thành.Bổ sung thêm chức năng điều khiển tự động vòng kín PID vào bảng mạch, So sánh tín hiệu đo lưu lượng đo được bằng cảm biến với tín hiệu cài đặt do người dùng đưa ra.Dựa vào đó, van điều khiển được điều khiển sao cho tín hiệu phát hiện dòng chảy bằng với tín hiệu đã đặt, từ đó thực hiện được chức năng của MFC.
III.Ứng dụng và tính năng.
MFC，được ứng dụng rộng rãi trong các lĩnh vực như: chế tạo chất bán dẫn và vi mạch, khoa học vật liệu đặc biệt, công nghiệp hóa chất, công nghiệp dầu khí, công nghiệp dược phẩm, bảo vệ môi trường và nghiên cứu hệ thống chân không, v.v. Các ứng dụng điển hình bao gồm: thiết bị xử lý vi điện tử như khuếch tán , oxy hóa, epit Wax, CVD, khắc plasma, phún xạ, cấy ion;thiết bị lắng đọng chân không, nấu chảy sợi quang, thiết bị phản ứng vi mô, hệ thống trộn và kết hợp khí, hệ thống kiểm soát dòng mao quản, máy sắc ký khí và các dụng cụ phân tích khác.
MFC mang lại độ chính xác cao, khả năng lặp lại tuyệt vời, phản hồi nhanh, khởi động mềm, độ tin cậy tốt hơn, dải áp suất vận hành đa dạng (vận hành tốt trong điều kiện áp suất cao và chân không), vận hành đơn giản, thuận tiện, lắp đặt linh hoạt, có thể kết nối với PC để thực hiện tự động điều khiển hệ thống của người dùng.
IV.Cách xác định và xử lý failure?
Công ty chúng tôi có kỹ sư sau bán hàng chuyên nghiệp, có thể giúp bạn giải quyết các vấn đề trong việc lắp đặt và sử dụng.
Thời gian đăng: 29-07-2022