Kiến thức – Van chân không

I. Giới thiệu van
Van chân không là một bộ phận của hệ thống chân không dùng để thay đổi hướng luồng khí, điều chỉnh kích thước dòng khí, cắt hoặc nối đường ống trong hệ thống chân không.Các bộ phận đóng của van chân không được bịt kín bằng gioăng cao su hoặc gioăng kim loại.

II.Ứng dụng van chân không thông thường
Van chân không
Được sử dụng trong các thiết bị có hệ thống chân không cao hoặc siêu cao khi phải duy trì chân không trong hệ thống xử lý chân không khép kín.Van chân không được sử dụng để kiểm soát luồng không khí vào buồng chân không, cách ly, thông hơi, giúp giảm áp suất hoặc điều khiển dẫn truyền.Van cổng, van nội tuyến và van góc là những loại van chân không phổ biến nhất được sử dụng cho các ứng dụng chân không cao hoặc siêu cao.Các loại van bổ sung bao gồm van bướm, van chuyển, van bi, van con lắc, van hoàn toàn bằng kim loại, van chân không, van góc nhôm, van chân không phủ Teflon và van thẳng.

Van bướm
là các van mở nhanh bao gồm các đĩa hoặc cánh gạt kim loại quay vuông góc với hướng dòng chảy trong đường ống và khi quay trên trục của chúng, van sẽ bịt kín chỗ ngồi trong thân van.

Van chuyển (van cổng hình chữ nhật)
Van phân tách thích hợp để sử dụng giữa buồng chân không có khóa tải và buồng chuyển, cũng như giữa buồng chuyển và buồng xử lý trong thiết bị sản xuất chất bán dẫn.

Van bi chân không
là các van dòng thẳng quay một phần tư có cụm đóng hình tròn với các đế tròn phù hợp để tạo ra áp suất bịt kín đồng đều.

Van con lắc
là một van tiết lưu lớn được lắp giữa buồng chân không của quá trình và đầu vào của bơm tua bin phân tử.Các van con lắc chân không này thường được thiết kế dưới dạng van cổng hoặc con lắc cho các ứng dụng bao gồm các hệ thống sản xuất công nghiệp OLED, FPD và PV.

Van hoàn toàn bằng kim loại
Được thiết kế để sử dụng trong môi trường chân không cực cao, nơi nhiệt độ cao không cho phép sử dụng chất đàn hồi và kim loại đệm đông lạnh.Van hoàn toàn bằng kim loại có thể nướng được cung cấp khả năng bịt kín nhiệt độ cao đáng tin cậy từ áp suất khí quyển đến dưới 10-11 mbar.

Van chân không
Hoạt động đáng tin cậy trong các hệ thống sản xuất chất bán dẫn và trong các ứng dụng có ô nhiễm hóa chất và hạt.Chúng có thể được sử dụng trong môi trường chân không thô, chân không cao hoặc chân không cực cao.

Van góc nhôm
Đầu vào và đầu ra của các van này vuông góc với nhau.Các van góc này được làm bằng nhôm A6061-T6 và được sử dụng trong sản xuất thiết bị bán dẫn và thiết bị, R&D và hệ thống chân không công nghiệp cho các ứng dụng chân không thô đến cao.

Van chân không được phủ Teflon là một thiết bị thành phần chân không bằng thép không gỉ được thiết kế hoàn chỉnh với lớp phủ bền và có khả năng kháng hóa chất cao.

III.Đặc điểm của van chân không.
Áp suất thấp hơn áp suất khí quyển và độ giảm áp suất qua nắp van không thể vượt quá 1 kg lực/cm.Nhiệt độ làm việc của môi trường phụ thuộc vào quá trình sử dụng thiết bị.Nhiệt độ thường không vượt quá phạm vi -70 ~ 150 ° C.Yêu cầu cơ bản nhất đối với các van như vậy là đảm bảo độ kín cao của mối nối và độ dày của kết cấu và vật liệu đệm.

Theo van chân không áp suất trung bình có thể được chia thành bốn nhóm.
1) Van chân không thấp: áp suất trung bình p=760~1 mmHg.
2) Van chân không trung bình: p=1×10-3 mmHg.
3) Van chân không cao: p=1×10-4 ~1×10-7 mmHg.
4) Van chân không cực cao: p<1×10-8 mmHg.

Là một van mạch kín có đường kính đi qua nhỏ hơn 250 mm, thân được sử dụng rộng rãi là van ngắt ống thổi chân không có chuyển động tuyến tính.Tuy nhiên, van cổng bị hạn chế hơn nhưng chủ yếu dành cho đường kính lớn.Ngoài ra còn có van cắm hình cầu (van bi), van pít tông và van bướm.Van cắm cho van chân không chưa được phát huy vì yêu cầu bôi trơn bằng dầu, khiến hơi dầu có thể lọt vào hệ thống chân không, điều này là không được phép.Van chân không có thể được điều khiển bằng tay và từ xa tại hiện trường, cũng như bằng điện, điện từ (van điện từ), bằng khí nén và thủy lực.