מאַסע פלאָו קאָנטראָללער מאַסע פלאָו מעטער CS200
איינריכטונגען
1. הויך אַקקוראַסי און שנעל ענטפער
די אַקיעראַסי פון די CS200 MFC איז ימפּרוווד צו ± 1.0% פון SP, און די מערסט אַוואַנסירטע מאָדעלס האָבן אַ רידוסט ענטפער צייט פון ווייניקער ווי 0.8 סעק.
2. נידעריק נול דריפט און טעמפּעראַטור קאָואַפישאַנט
די דערפינדונג פון נייַע סענסער טעכנאָלאָגיע ינייבאַלז די CS200 MFC צו האַלטן פעסטקייַט און וויטסטאַנד טעמפּעראַטור פלאַקטשויישאַנז.אָן אַ אַוטאָ-נול אַמפּלאַפייער, די דערוואַרט נול דריפט איז ווייניקער ווי 0.6% FS / יאָר, און די טעמפּעראַטור קאָואַפישאַנט איז ווייניקער ווי 0.02% FS / ℃ (נול), 0.05% FS / ℃ (שפּאַן).
3. מעטאַל-געחתמעט מאָדעלס און הויך ריינקייַט שטריך
די וועטיד לויפן דרך פון די שורה CS200 MFC איז קאַנסטראַקטאַד פון ייבערפלאַך-פּאַסיווייטיד ומבאַפלעקט שטאָל.אַלע CS200 MFCs זענען פארזאמלט אין Sevenstar ס ולטראַקלעאַן קלאַס 100-קלאַס קלינראָאָמס אין לויט מיט ביידע SEMI און ISO 9001 סטאַנדאַרדס.
4. קאַמפּאַטאַבאַל ינטערפייסיז
די CS200 MFC איז קאַמפּאַטאַבאַל מיט די פאלגענדע ינטערפייסיז, וואָס קען זיין אויסגעקליבן דורך דער קונה: ± 8V-±16V טאָפּל-סוף מאַכט צושטעלן און +14V-+28V איין-סוף מאַכט צושטעלן;דיגיטאַל אָדער אַנאַלאָג סיגנאַל אַרייַנשרייַב און רעזולטאַט;סעמי נאָרמאַל מעטשאַניקאַל דימענשאַנז;און RS-485 אָדער DeviceNet קאָמוניקאַציע מאָדולע.
5. פאַרשיידן פאַנגקשאַנז
שטאַרק קונה ווייכווארג קומט נאָרמאַל מיט יעדער מאָדעל, בשעת נאָך פאַנגקשאַנז אַזאַ ווי מולטי-גאַז, מולטי-קייט, אַוטאָ-נול, אַלאַרמס, ווייך אָנהייב און פאַרהאַלטן זענען בארעכטיגט ווי קונה סאַלעקשאַנז.
ספּעציפיקאַציע
| CS200 | |||||||
| טיפּ | CS200A | CS200C | CS200D | ||||
| גאַנץ וואָג קייט (N2) | (0-5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | ( 0-2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | |||||
| ( 0-1,2,3,5,10,20,30,50)סלם | ( 0~1,2,3,5,10,20,30)סלם | ||||||
| אַקיעראַסי | ±1.0% ספּ (≥35% FS) ±0.35% FS?(±35% FS) | ||||||
| לינעאַריטי | ±0.5% FS | ||||||
| רעפּעאַטאַביליטי | ±0.2% FS | ||||||
| ענטפער צייט | ≤1 סעק | ≤0.8 סעק (SEMI E17-0600) | |||||
| וואַלוו מנוחה שטעלע | נאָרמאַללי פֿאַרמאַכט אָדער | קיין וואַלוו | נאָרמאַללי פֿאַרמאַכט אָדער | קיין וואַלוו | נאָרמאַללי פֿאַרמאַכט אָדער | קיין וואַלוו | |
| נאָרמאַללי עפענען (100 סקקם≤FS≤5 סלם) | נאָרמאַללי עפענען (100 סקקם≤FS≤5 סלם) | נאָרמאַללי עפענען (100 סקקם≤FS≤5 סלם) | |||||
| דיפערענטשאַל דרוק | 0.05 ~ 0.35 MPa (פלאָוו≤ 10 סלם) | ＜0.02מפּאַ | (0.05 ~ 0.35) מפּאַ (≤ 10 סלם) | ＜0.02מפּאַ | (0.05 ~ 0.35) מפּאַ (≤ 10 סלם) | ＜0.02מפּאַ | |
| 0.1 ~ 0.35 MPa (10 סלם ＜ לויפן ≤ 30 סלם ) | (0.1 ~ 0.35) MPa (~10 סלם) | (0.1 ~ 0.35) MPa (~10 סלם) | |||||
| 0.2 ~ 0.45 מפּאַ (פלאָוו 30 סלם) | |||||||
| מאַקסימום אַפּערייטינג דרוק | 0.45מפּאַ | |||||
| טעמפּעראַטור | נול: ≤±0.05% FS/℃; | נול: ≤±0.02% FS/℃;שפּאַן: ≤±0.05% FS/℃ | ||||
| קאָואַפישאַנט | שפּאַן: ≤±0.1% FS/℃ (פלאָוו≤30סלם) | |||||
| שפּאַן: ≤±0.2% FS/℃ (פלאָוו>30סלם) | ||||||
| דערווייַז דרוק | 3 MPa (435 פּיג) | |||||
| נול דריפט | ＜0.6% FS פּער יאָר אָן אַוטאָזעראָ | |||||
| רינען אָרנטלעכקייַט | 1×10-9 אַטמ·קק / סעק ער | 1×10-10אַטם·קק / סעק ער | ||||
| וועטטעד מאַטעריאַלס | Viton; | מעטאַל? (ומבאַפלעקט שטאָל V/V, 5Ra) | מעטאַל | |||
| ייבערפלאַך כעמיע | —— | קר / פע פאַרהעלטעניש ＞2.0;CrO גרעב ＞20 אַנגסטראַמז | ||||
| ייבערפלאַך ענדיקן | 25 רא | 10ראַ | 25 רא | |||
| אָפּעראַציע טעמפּעראַטור | (5 ~ 45 ℃ | (0 ~ 50℃ | ||||
| אַרייַנשרייַב סיגנאַל | דיגיטאַל: RS485 אָדער ProfiBus | N/A | דיגיטאַל: RS485 אָדער ProfiBus אָדער DeviceNetTM | N/A | דיגיטאַל: RS485 אָדער ProfiBus אָדער DeviceNetTM | N/A |
| אָדער DeviceNetTM | אַנאַלאָג: (0 ~ 5) וודק אָדער (4 ~ 20) מאַ אָדער (0 ~ 20) מאַ | אַנאַלאָג: (0 ~ 5) וודק אָדער (4 ~ 20) מאַ? אָדער (0 ~ 20) מאַ | |||||
| אַנאַלאָג: (0 ~ 5) וודק אָדער (4 ~ 20) מאַ אָדער (0 ~ 20) מאַ | |||||||
| רעזולטאַט סיגנאַל | דיגיטאַל: RS485 אָדער DeviceNetTM אָדער ProfiBus אַנאַלאָג: (0 ~ 5) וודק אָדער (4 ~ 20) מאַ אָדער (0 ~ 20) מאַ | ||||||
| מאַכט צושטעלן | ±8 ~ ±16 וודק אָדער +14 ~ +28 וודק (400מאַ) | ||||||
| עלעקטראָניש קאַנעקטער | 9-פּין זכר סוב-ד, 15-פּין זכר סוב-ד, DeviceNetTM,ProfiBus, אַנאַלאָג | ||||||
| פיטינגז | VCR1/4" M; VCO1/4" M; | ווקר1/4” מ; | |||||
| קאַמפּרעשאַן פיטינגΦ10; קאַמפּרעשאַן פּאַסןΦ6； | קאַמפּרעשאַן פיטינגΦ6, | ||||||
| קאַמפּרעשאַן פּאַסן 3/8 ";קאַמפּרעשאַן פּאַסיק 1/4"; | קאַמפּרעשאַן פיטינגΦ3, | ||||||
| קאַמפּרעשאַן פיטינג 1/8 ";קאַמפּרעשאַן פּאַסיק Φ3； | קאַמפּרעשאַן פיטינג 1/4 "， | ||||||
| Ф6 (ינער) × 1 האָסע; 5 (ינער) × 1.5 האָסע; 4 (ינער) × 1 האָסע; | וו-סיל, | ||||||
| א־סאעל ; | C-פּלאָמבע | ||||||
| וואָג | 1קג | 0.8 קג | 1.2 קג | 1קג | 1.2 קג | 1קג | |
