I. מעטשאַניקאַל פּאַמפּס
די הויפּט פֿונקציע פון די מעטשאַניקאַל פּאָמפּע איז צו צושטעלן די נייטיק פאַר-בינע וואַקוום פֿאַר די אָנהייב פון די טורבאָמאָלעקולאַר פּאָמפּע.קאַמאַנלי געניצט מעטשאַניקאַל פּאַמפּס אַרייַננעמען דער הויפּט וואָרטעקס טרוקן פּאַמפּס, דייאַפראַם פּאַמפּס און בוימל געחתמעט מעטשאַניקאַל פּאַמפּס.
דייאַפראַם פּאַמפּס האָבן נידעריק פּאַמפּינג גיכקייַט און זענען בכלל געניצט פֿאַר קליין מאָלעקולאַר פּאָמפּע שטעלט רעכט צו דער קליין גרייס.
די אָיל-געחתמעט מעטשאַניקאַל פּאָמפּע איז די מערסט געוויינט מעטשאַניקאַל פּאָמפּע אין דער פאַרגאַנגענהייט, קעראַקטערייזד דורך גרויס פּאַמפּינג גיכקייַט און גוט לעצט וואַקוום, די כיסאָרן איז דער גענעראַל עקזיסטענץ פון ייל צוריקקומען, אין הינטער-הויך וואַקוום סיסטעמען, בכלל דאַרפֿן צו זיין יקוויפּט מיט סאָלענאָיד וואַלוו. (פֿאַר פּרעווענטינג אַקסאַדענטאַל מאַכט דורכפאַל געפֿירט דורך ייל צוריקקומען) און מאָלעקולאַר זיפּ (אַדסאָרפּטיאָן ווירקונג).
אין פריש יאָרן, די מער געניצט איז די מעגילע טרוקן פּאָמפּע. די מייַלע איז פּשוט צו נוצן און טוט נישט צוריקקומען צו בוימל, נאָר די פּאַמפּינג גיכקייַט און די לעצט וואַקוום איז אַ ביסל ערגער ווי אַז פון בוימל-געחתמעט מעטשאַניקאַל פּאַמפּס.
מעטשאַניקאַל פּאַמפּס זענען אַ הויפּט מקור פון ראַש און ווייבריישאַן אין דער לאַבאָראַטאָריע און עס איז בעסער צו קלייַבן אַ נידעריק ראַש פּאָמפּע און שטעלן עס צווישן ויסריכט ווו מעגלעך, אָבער די יענער איז אָפט נישט גרינג צו דערגרייכן ווייַל פון די ריסטריקשאַנז פון אַרבעט דיסטאַנסע.
וו.טורבאָמאָלעקולאַר פּאַמפּס
טורבאָ מאָלעקולאַר פּאַמפּס פאַרלאָזנ זיך הויך-גיכקייַט ראָוטייטינג וויינז (יוזשאַוואַלי אַרום 1000 רעוואַלושאַנז פּער מינוט) צו דערגרייכן אַ דירעקטיאָנאַל לויפן פון גאַז.די פאַרהעלטעניש פון די פּאָמפּע ס ויסמאַטערן דרוק צו די ינלעט דרוק איז גערופן די קאַמפּרעשאַן פאַרהעלטעניש.די קאַמפּרעשאַן פאַרהעלטעניש איז שייך צו די נומער פון סטאַגעס פון די פּאָמפּע, די גיכקייַט און די טיפּ פון גאַז, די אַלגעמיינע מאָלעקולאַר וואָג פון די גאַז קאַמפּרעשאַן איז לעפיערעך הויך.די לעצט וואַקוום פון אַ טורבאָמאָלעקולאַר פּאָמפּע איז בכלל באטראכט צו זיין 10-9-10-10 מבאַר, און אין די לעצטע יאָרן, מיט די קעסיידערדיק פּראָגרעס פון מאָלעקולאַר פּאָמפּע טעכנאָלאָגיע, די לעצט וואַקוום איז נאָך ימפּרוווד.
ווי די אַדוואַנטידזשיז פון אַ טורבאָמאָלעקולאַר פּאָמפּע זענען איינגעזען בלויז אין אַ מאָלעקולאַר לויפן שטאַט (אַ לויפן שטאַט אין וואָס די דורכשניטלעך פריי קייט פון די גאַז מאַלאַקיולז איז פיל גרעסער ווי די מאַקסימום גרייס פון די דאַקט קרייַז-אָפּטיילונג), אַ פאַר-בינע וואַקוום פּאָמפּע מיט אַ אַפּערייטינג דרוק פון 1 צו 10-2 פּאַ איז פארלאנגט.רעכט צו דער הויך ראָוטיישאַנאַל גיכקייַט פון די וויינז, די מאָלעקולאַר פּאָמפּע קענען זיין דאַמידזשד אָדער חרובֿ דורך פרעמד אַבדזשעקץ, דזשיטער, פּראַל, אפקלאנג אָדער גאַז קלאַפּ.פֿאַר ביגינערז, די מערסט פּראָסט גרונט פון שעדיקן איז גאַז קלאַפּ געפֿירט דורך אַפּערייטינג ערראָרס.שעדיקן צו אַ מאָלעקולאַר פּאָמפּע קענען אויך זיין געפֿירט דורך רעזאַנאַנס טריגערד דורך אַ מעטשאַניקאַל פּאָמפּע.דער צושטאַנד איז לעפיערעך זעלטן אָבער ריקווייערז ספּעציעל ופמערקזאַמקייַט ווייַל עס איז מער ינסידיאַס און נישט לייכט דיטעקטאַד.
III.ספּוטערינג יאָן פּאָמפּע
דער אַרבעט פּרינציפּ פון די ספּאַטערינג יאָן פּאָמפּע איז צו נוצן די ייאַנז דזשענערייטאַד דורך די פּעננינג אָפּזאָגן צו באַמבאַרד די טיטאַניום טעלער פון די קאַטאָוד צו פאָרעם אַ פריש טיטאַניום פילם, אַזוי אַדסאָרבינג די אַקטיוו גאַסאַז און האָבן אַ זיכער קווורע ווירקונג אויף די ינערט גאַסאַז. .די אַדוואַנטידזשיז פון ספּאַטערינג יאָן פּאַמפּס זענען גוט לעצט וואַקוום, קיין ווייבריישאַן, קיין ראַש, קיין פאַרפּעסטיקונג, אַ דערוואַקסן און סטאַביל פּראָצעס, קיין וישאַלט און אין דער זעלביקער פּאַמפּינג גיכקייַט (אַחוץ פֿאַר ינערט גאַסאַז), זייער פּרייַז איז פיל נידעריקער ווי מאָלעקולאַר פּאַמפּס, וואָס מאכט זיי גאָר וויידלי געניצט אין הינטער-הויך וואַקוום סיסטעמען.יוזשאַוואַלי דער נאָרמאַל אַפּערייטינג ציקל פון ספּאַטערינג יאָן פּאַמפּס איז מער ווי 10 יאר.
יאָן פּאַמפּס בכלל דאַרפֿן צו זיין העכער 10-7 מבאַר צו אַרבעטן רעכט (ארבעטן אין ערגער וואַקוום באטייטיק ראַדוסאַז זייער לעבן) און דעריבער דאַרפן אַ מאָלעקולאַר פּאָמפּע שטעלן צו צושטעלן אַ גוט פאַר-בינע וואַקוום.עס איז פּראָסט פיר צו נוצן אַ יאָן פּאָמפּע + TSP אין די הויפּט קאַמער און אַ קליין מאָלעקולאַר פּאָמפּע שטעלן אין די ינלעט קאַמער.ווען באַקינג, עפענען די קאָננעקטעד אַרייַנלייגן וואַלוו און לאָזן די קליין מאָלעקולאַר פּאָמפּע שטעלן צושטעלן די פראָנט וואַקוום.
עס זאָל זיין אנגעוויזן אַז יאָן פּאַמפּס זענען ווייניקער טויגעוודיק פון אַדסאָרפּטיאָן פון ינערט גאַסאַז און זייער מאַקסימום פּאַמפּינג גיכקייַט איז עפּעס אַנדערש פון די פון מאָלעקולאַר פּאַמפּס, אַזוי אַז פֿאַר גרויס אַוטגאַססינג וואַליומז אָדער גרויס אַמאַונץ פון ינערט גאַסאַז, אַ מאָלעקולאַר פּאָמפּע שטעלן איז פארלאנגט.אין דערצו, די יאָן פּאָמפּע דזשענערייץ אַן ילעקטראָומאַגנעטיק פעלד בעשאַס אָפּעראַציע, וואָס קען אַרייַנמישנ זיך מיט דער הויפּט שפּירעוודיק סיסטעמען.
IV.טיטאַניום סובלימאַטיאָן פּאַמפּס
טיטאַניום סובלימאַטיאָן פּאַמפּס אַרבעט דורך רילייינג אויף די יוואַפּעריישאַן פון מעטאַלליק טיטאַניום צו פאָרעם אַ טיטאַניום פילם אויף די קאַמער ווענט פֿאַר טשעמיסאָרפּטיאָן.די אַדוואַנטידזשיז פון טיטאַניום סובלימאַטיאָן פּאַמפּס זענען פּשוט קאַנסטראַקשאַן, נידעריק פּרייַז, גרינג וישאַלט, קיין ראַדיאַציע און קיין ווייבריישאַן ראַש.
טיטאַניום סובלימאַטיאָן פּאַמפּס יוזשאַוואַלי צונויפשטעלנ זיך פון 3 טיטאַניום פילאַמאַנץ (צו פאַרמייַדן ברענען אַוועק) און זענען געניצט אין קאָמבינאַציע מיט מאָלעקולאַר אָדער יאָן פּאַמפּס צו צושטעלן ויסגעצייכנט הידראָגען באַזייַטיקונג.זיי זענען די מערסט וויכטיק וואַקוום פּאַמפּס אין די 10-9-10-11 מבאַר קייט און זענען פיטאַד אין רובֿ הינטער-הויך וואַקוום טשיימבערז ווו הויך וואַקוום לעוועלס זענען פארלאנגט.
די כיסאָרן פון טיטאַניום סובלימאַטיאָן פּאַמפּס איז די נויט פֿאַר רעגולער ספּוטערינג פון טיטאַניום, די וואַקוום דיטיריערייץ וועגן 1-2 אָרדערס פון מאַגנאַטוד בעשאַס ספּאַטערינג (ין אַ ביסל מינוט), דעריבער זיכער טשיימבערז מיט ספּעציפיש באדערפענישן דאַרפן די נוצן פון NEG.אויך, פֿאַר טיטאַניום שפּירעוודיק סאַמפּאַלז / דעוויסעס, זאָל זיין גענומען זאָרגן צו ויסמיידן די אָרט פון די טיטאַניום סובלימאַטיאָן פּאָמפּע.
V. קריאָגעניק פּאַמפּס
קריאָגעניק פּאַמפּס דער הויפּט פאַרלאָזנ אויף נידעריק טעמפּעראַטור פיזיש אַדסאָרפּטיאָן צו באַקומען וואַקוום, מיט די אַדוואַנטידזשיז פון הויך פּאַמפּינג גיכקייַט, קיין פאַרפּעסטיקונג און הויך לעצט וואַקוום.די הויפּט סיבות וואָס ווירקן די פּאַמפּינג גיכקייַט פון קריאָגעניק פּאַמפּס זענען טעמפּעראַטור און די ייבערפלאַך געגנט פון די פּאָמפּע.אין גרויס מאָלעקולאַר שטראַל עפּיטאַקסי סיסטעמען, קריאָגעניק פּאַמפּס זענען וויידלי געניצט רעכט צו דער הויך לעצט וואַקוום רעקווירעמענץ.
די דיסאַדוואַנטידזשיז פון קריאָגעניק פּאַמפּס זענען די הויך קאַנסאַמשאַן פון פליסיק ניטראָגען און הויך אַפּערייטינג קאָס.סיסטעמען מיט רעסירקולאַטינג טשילערז קענען זיין געוויינט אָן קאַנסומינג פליסיק ניטראָגען, אָבער דאָס ברענגט מיט זיך די קאָראַספּאַנדינג פראבלעמען פון ענערגיע קאַנסאַמשאַן, ווייבריישאַן און ראַש.פֿאַר דעם סיבה, קריאָגעניק פּאַמפּס זענען ווייניקער קאַמאַנלי געניצט אין קאַנווענשאַנאַל לאַבאָראַטאָריע ויסריכט.
VI.אַספּיראַטאָר פּאַמפּס (נעג)
סאַקשאַן אַגענט פּאָמפּע איז איינער פון די מער געוויינט וואַקוום פּאַמפּס אין די לעצטע יאָרן, זייַן מייַלע איז די פולשטענדיק נוצן פון כעמישער אַדסאָרפּטיאָן, קיין פארע פּלייטינג און ילעקטראָומאַגנעטיק פאַרפּעסטיקונג, אָפט געניצט אין קאַנדזשאַנגקשאַן מיט מאָלעקולאַר פּאַמפּס צו נעמען דעם אָרט פון טיטאַניום סובלימאַטיאָן פּאַמפּס און ספּאַטערינג יאָן. פּאַמפּס, די כיסאָרן איז די הויך פּרייַז און לימיטעד נומער פון רידזשענעריישאַנז, יוזשאַוואַלי געניצט אין סיסטעמען מיט הויך רעקווירעמענץ פֿאַר וואַקוום פעסטקייַט אָדער העכסט שפּירעוודיק צו ילעקטראָומאַגנעטיק פעלדער.
אין אַדישאַן, ווי די אַספּיראַטאָר פּאָמפּע ריקווייערז קיין נאָך מאַכט צושטעלן פֿאַרבינדונג ווייַטער פון די ערשט אַקטאַוויישאַן, עס איז אויך אָפט געניצט אין גרויס סיסטעמען ווי אַ אַגזיליערי פּאָמפּע צו פאַרגרעסערן די פּאַמפּינג גיכקייַט און פֿאַרבעסערן די וואַקוום מדרגה, וואָס קענען יפעקטיוולי פאַרפּאָשעטערן די סיסטעם.
פיגורע: ארבעטן פּרעשערז פֿאַר פאַרשידענע טייפּס פון פּאַמפּס.די ברוין אַראָוז ווייַזן די מאַקסימום ערלויבט אַפּערייטינג דרוק קייט און די דרייסט גרין טיילן ווייַזן די פּראָסט אַרבעט דרוק קייט.
פּאָסטן צייט: נאוועמבער 18-2022