וואַסער קולד אָיל דיפפוסיאָן פּאָמפּע
KT הויך וואַקוום בוימל דיפיוזשאַן וואַקוום פּאָמפּע זענען די עקוויפּמענט דער הויפּט געניצט פֿאַר געטינג די הויך וואַקוום צושטאַנד (10 ^ -2 ~ 10 ^ -5 פּאַ);די פּאָמפּע, וואַלווז, וואַסער קאָאָלינג באַפאַלל, רער און מעטשאַניקאַל וואַקוום פּאָמפּע זענען דער זאַץ פון אַ וואַקוום אַפּאַראַט, 10 ^ -2 ~ 10 ^ -4 וואַקוום גראַד קענען זיין באקומען.אויב פליסיק ניטראָגען אָדער אנדערע קאָאָלינג מיטל קענען זיין געוויינט, עס קענען באַקומען אַ הינטער-הויך וואַקוום (10 ^ - 6 פּאַ) מיט באַקינג.
די פּאַמפּינג קאַפּאַציטעט איז גרויס, די פּאַמפּינג גיכקייַט קענען זיין טשיינדזשד קייט פון 480 ל / s צו 13000 ל / s, עס מוסיף אָבסערוואַציע פֿענצטער, ייל ינלעט און ווענטיל און פּאָמפּע בוימל טעמפּעראַטור מעסטן מיטל, KT אַדאַפּץ סטרעטשינג פּראָצעס, ראַדוסאַז וועלד פּלאַצן און אויס גאַסינג און ינקריסיז שטאַרקייַט.עס זענען צוויי טייפּס פון כיטער איר קענען קלייַבן: באַהיצונג דראָט אָדער באַהיצונג טעלער.
אַפּפּליקאַטיאָנס
עס איז וויידלי געניצט פֿאַר הויך טעכנאָלאָגיע פעלדער פון וואַקוום קאָוטינג (אַזאַ ווי מולטי-אַרק יאָן קאָוטינג מאַשין, מאַגנעטראָן ספּוטערינג קאָוטינג מאַשין, קעגנשטעל יוואַפּעריישאַן קאָוטינג מאַשין, עלעקטראָן שטראַל יוואַפּעריישאַן אָפּטיש קאָוטינג מאַשין, ראָולינג וואַקוום קאָוטינג, קעסיידערדיק וואַקוום קאָוטינג מאַשין פּראָדוקציע שורה / אין- שורה קאָוטינג פּראָדוקציע ליניע, עטק), וואַקוום אויוון (אַזאַ ווי וואַקוום סאַדערינג / בראַזינג אויוון, וואַקוום אַנילינג אויוון, וואַקוום טעמפּערינג אויוון, וואַקוום סינטערינג אויוון, וואַקוום קאַרבורייזינג אויוון, עטק), עלעקטראָן, כעמישער אינדוסטריע, מעטאַלערדזשי, ייווייישאַן, עראָוספּייס, מאַטעריאַל, באַשעפעניש מעדיצין, אַטאָמישע ענערגיע און אַלוועלט זאָנד, אאז"ו ו.
קט סעריע הויך וואַקוום בוימל דיפיוזשאַן פּאָמפּע הויפּט טעכניש פאָרשטעלונג פּאַראַמעטער טיש
| פּאַראַמעטער מאָדעל | ק-160ט | ק-200ט | ק-250ט | ק-300ט | ק-400ט | ק-500ט | ק-600ט | ק-800ט | ק-1000ט | ק-1200ט |
| לעצט וואַקוום (פּאַ) | 5×10-5 | |||||||||
| פּאַמפּינג גיכקייַט (1.3 × 10-3~6.6×10-5פּאַ ינערלעך-צו-לופט) (ל / ז) | 800 | 1750 | 2800 | 3500 | 7500 | 9000 | 16000 | 29000 | 46000 | 50000 |
| באַהיצונג מאַכט （KW） | 0.9~1.0 | 1.2~1.8 | 2 | 2~3 | 3~4 | 7.5 | 6~7 | 11~13 | 18~19 | 24 |
| אָיל מאַסע (ל) | 0.4~0.6 | 0.5~0.8 | 1.2 | 1.2~1.6 | 3~4 | 7 | 6~7 | 12~14 | 18~19 | 22 |
| וואַסער קאַנסאַמשאַן (ל / ה) | 200 | 300 | 350 | 400 | 600 | 700 | 800 | 1200 | 1500 | 2600 |
| מאַקסימום קריטיש דרוק (פּאַ) | 40 | |||||||||
| רעקאַמענדיד באַקינג פּאַמפּינג גיכקייַט (ל / ז) | 8 | 15 | 20 | 30 | 60 | 70 | 120 | 240 | 350 | 350 |
| דיאַמעטער פון ינלעט (מם) | Φ160 | Φ200 | Φ250 | Φ300 | Φ400 | Φ500 | Φ600 | Φ800 | Φ1000 | Φ1200 |
| דיאַמעטער פון ווענטיל (מם) | Φ50 | Φ65 | Φ65 | Φ80 | Φ100 | Φ100 | Φ150 | Φ200 | Φ200 | Φ300 |
קט סעריע הויך וואַקוום בוימל דיפיוזשאַן פּאָמפּע קשר גרייס טיש
| מאָדעל גרייס | D | D1 | D2 | d | d1 | d2 | n1-ɸ1 | N2-ɸ2 | A | L | H |
| ק-160ט | 160 | 200 | 225 | 50 | 90 | 110 | 8-ɸ12 | 4-ɸ9 | 220 | 185 | 420 |
| ק-200ט | 200 | 250 | 275 | 65 | 105 | 125 | 8-ɸ12 | 4-ɸ9 | 250 | 200 | 640 |
| ק-250ט | 250 | 300 | 330 | 65 | 105 | 125 | 8-ɸ14 | 4-ɸ9 | 280 | 250 | 650 |
| ק-300ט | 300 | 350 | 380 | 80 | 125 | 145 | 8-ɸ14 | 4-ɸ9 | 330 | 280 | 720 |
| ק-400ט | 400 | 465 | 500 | 100 | 145 | 170 | 8-ɸ18 | 4-ɸ12 | 440 | 380 | 1050 |
| ק-500ט | 500 | 565 | 600 | 100 | 145 | 170 | 12-ɸ18 | 4-ɸ12 | 500 | 400 | 1000 |
| ק-600ט | 600 | 670 | 710 | 150 | 195 | 220 | 12-ɸ21 | 8-ɸ12 | 660 | 600 | 1475 |
| ק-800ט | 800 | 880 | 920 | 200 | 250 | 275 | 20-ɸ21 | 8-ɸ12 | 880 | 820 | 1815 |
| ק-1000ט | 1000 | 1090 | 1140 | 250 | 300 | 330 | 24-ɸ23 | 8-ɸ14 | 1120 | 1195 | 2220 |
| ק–1200ט | 1200 | 1310 | 1360 | 300 | 350 | 380 | 28-ɸ25 | 8-ɸ14 | 1120 | 1500 | 2764 |
