Awọn ifasoke ti o wọpọ lo ninu awọn eto igbale giga-giga

I. Mechanical bẹtiroli
Iṣẹ akọkọ ti fifa ẹrọ ẹrọ ni lati pese aaye igbale ti o yẹ fun ibẹrẹ ti fifa turbomolecular.Awọn ifasoke darí ti o wọpọ pẹlu awọn ifasoke gbigbẹ vortex ni akọkọ, awọn ifasoke diaphragm ati awọn ifasoke ẹrọ ti epo.
Awọn ifasoke diaphragm ni iyara fifa kekere ati pe a lo ni gbogbogbo fun awọn eto fifa molikula kekere nitori iwọn kekere.
Fifọ ẹrọ ti a fi edidi epo jẹ fifa ẹrọ ẹrọ ti a lo julọ ni igba atijọ, ti a ṣe afihan nipasẹ iyara fifa nla ati igbale ipari ti o dara, aila-nfani ni aye gbogbogbo ti ipadabọ epo, ni awọn eto igbale giga-giga ni gbogbogbo nilo lati ni ipese pẹlu àtọwọdá solenoid (fun idilọwọ ikuna agbara lairotẹlẹ ti o ṣẹlẹ nipasẹ ipadabọ epo) ati sieve molikula (ipa adsorption).
Ni awọn ọdun aipẹ, diẹ sii ti a lo ni yiyi gbigbẹ fifa.The anfani ni o rọrun lati lo ati ki o ko pada si epo, o kan awọn fifa iyara ati Gbẹhin igbale jẹ die-die buru ju ti epo-kü darí fifa.
Awọn ifasoke ẹrọ jẹ orisun akọkọ ti ariwo ati gbigbọn ninu ile-iyẹwu ati pe o dara lati yan fifa ariwo kekere kan ki o gbe si laarin ohun elo nibiti o ti ṣee ṣe, ṣugbọn igbehin kii ṣe rọrun nigbagbogbo lati ṣaṣeyọri nitori awọn ihamọ ijinna iṣẹ.
II.Turbomolecular bẹtiroli
Awọn ifasoke molikula Turbo gbarale awọn ayokele yiyi iyara giga (nigbagbogbo ni ayika awọn iyipo 1000 fun iṣẹju kan) lati ṣaṣeyọri ṣiṣan itọsọna ti gaasi.Awọn ipin ti awọn fifa ká eefi titẹ si awọn agbawole titẹ ni a npe ni awọn funmorawon ratio.Iwọn funmorawon ni ibatan si nọmba awọn ipele ti fifa soke, iyara ati iru gaasi, iwuwo molikula gbogbogbo ti funmorawon gaasi jẹ iwọn giga.Igbale ti o ga julọ ti fifa turbomolecular ni gbogbogbo ni a ka si 10-9-10-10 mbar, ati ni awọn ọdun aipẹ, pẹlu ilọsiwaju ilọsiwaju ti imọ-ẹrọ fifa molikula, igbale ti o ga julọ ti ni ilọsiwaju siwaju sii.
Gẹgẹbi awọn anfani ti fifa turbomolecular nikan ni a rii daju ni ipo sisan molikula (ipo sisan kan ninu eyiti apapọ iwọn ọfẹ ti awọn ohun elo gaasi jẹ tobi ju iwọn ti o pọju ti apakan agbelebu duct), fifa igbale ti iṣaaju-ipele. pẹlu titẹ iṣẹ ti 1 si 10-2 Pa nilo.Nitori iyara iyipo giga ti awọn ayokele, fifa molikula le bajẹ tabi run nipasẹ awọn nkan ajeji, jitter, ipa, resonance tabi mọnamọna gaasi.Fun awọn olubere, idi ti o wọpọ julọ ti ibajẹ jẹ mọnamọna gaasi ti o ṣẹlẹ nipasẹ awọn aṣiṣe ṣiṣe.Bibajẹ si fifa molikula tun le fa nipasẹ resonance ti o fa nipasẹ fifa ẹrọ.Ipo yii ko ṣọwọn ṣugbọn o nilo akiyesi pataki nitori pe o jẹ aibikita diẹ sii ko si ni irọrun rii.

III.Sputtering dẹlẹ fifa
Ilana iṣiṣẹ ti fifa ion sputtering ni lati lo awọn ions ti ipilẹṣẹ nipasẹ itusilẹ Penning lati bombard awo titanium ti cathode lati ṣe fiimu titanium tuntun kan, nitorinaa adsorbing awọn gaasi ti nṣiṣe lọwọ ati nini ipa isinku kan lori awọn gaasi inert daradara. .Awọn anfani ti awọn ifasoke ion sputtering jẹ igbale Gbẹhin ti o dara, ko si gbigbọn, ko si ariwo, ko si idoti, ilana ti ogbo ati iduroṣinṣin, ko si itọju ati ni iyara fifa kanna (ayafi fun awọn gaasi inert), idiyele wọn kere pupọ ju awọn ifasoke molikula, eyiti o jẹ ki wọn lo pupọ julọ ni awọn eto igbale giga-giga.Nigbagbogbo iṣẹ ṣiṣe deede ti awọn ifasoke ion sputtering jẹ diẹ sii ju ọdun 10 lọ.
Awọn ifasoke ion ni gbogbogbo nilo lati wa loke 10-7 mbar lati ṣiṣẹ daradara (ṣiṣẹ ni awọn igbale ti o buru ju dinku igbesi aye wọn ni pataki) ati nitorinaa nilo eto fifa molikula lati pese igbale iṣaaju-ipele to dara.O jẹ iṣe ti o wọpọ lati lo fifa ion + TSP ni iyẹwu akọkọ ati fifa molikula kekere ti a ṣeto sinu iyẹwu agbawọle.Nigbati o ba yan, ṣii àtọwọdá ti a fi sii ti a ti sopọ ki o jẹ ki ẹrọ fifa kekere molikula pese igbale iwaju.
O yẹ ki o ṣe akiyesi pe awọn ifasoke ion ko ni agbara lati ṣe adsorption ti awọn gaasi inert ati iyara fifa wọn ti o pọju yatọ si diẹ si ti awọn ifasoke molikula, nitorinaa fun awọn iwọn nla ti njade tabi awọn oye nla ti awọn gaasi inert, a nilo ṣeto fifa molikula kan.Ni afikun, fifa ion n ṣe ipilẹṣẹ aaye itanna lakoko iṣẹ, eyiti o le dabaru pẹlu awọn eto ifura pataki.
IV.Titanium sublimation bẹtiroli
Titanium sublimation bẹtiroli ṣiṣẹ nipa gbigbe ara lori evaporation ti ti fadaka titanium lati fẹlẹfẹlẹ kan ti titanium fiimu lori iyẹwu Odi fun chemisorption.Awọn anfani ti awọn ifasoke sublimation titanium jẹ ikole ti o rọrun, idiyele kekere, itọju rọrun, ko si itankalẹ ati ko si ariwo gbigbọn.
Awọn ifasoke sublimation Titanium nigbagbogbo ni awọn filaments titanium 3 (lati ṣe idiwọ sisun ni pipa) ati pe a lo ni apapo pẹlu awọn ifasoke molikula tabi ion lati pese yiyọkuro hydrogen to dara julọ.Wọn jẹ awọn ifasoke igbale ti o ṣe pataki julọ ni iwọn 10-9-10-11 mbar ati pe o wa ni ibamu ni ọpọlọpọ awọn yara igbale giga ti o ga julọ nibiti o nilo awọn ipele igbale giga.
Aila-nfani ti awọn ifasoke sublimation titanium ni iwulo fun sputtering deede ti titanium, igbale dinku nipa iwọn 1-2 awọn aṣẹ ti titobi lakoko sputtering (laarin iṣẹju diẹ), nitorinaa awọn iyẹwu kan pẹlu awọn iwulo pataki nilo lilo NEG.tun, fun titanium kókó awọn ayẹwo / awọn ẹrọ, itoju yẹ ki o wa ni ya lati yago fun awọn ipo ti titanium sublimation fifa.
V. Awọn ifasoke Cryogenic
Awọn ifasoke Cryogenic nipataki gbarale adsorption ti iwọn otutu kekere lati gba igbale, pẹlu awọn anfani ti iyara fifa giga, ko si idoti ati igbale ipari giga.Awọn ifosiwewe akọkọ ti o ni ipa iyara fifa ti awọn ifasoke cryogenic jẹ iwọn otutu ati agbegbe ti fifa soke.Ninu awọn eto epitaxy tan ina molikula nla, awọn ifasoke cryogenic jẹ lilo pupọ nitori awọn ibeere igbale ti o ga julọ.
Awọn aila-nfani ti awọn ifasoke cryogenic jẹ agbara giga ti nitrogen olomi ati awọn idiyele iṣẹ ṣiṣe giga.Awọn ọna ṣiṣe pẹlu awọn chillers recirculating le ṣee lo laisi jijẹ nitrogen olomi, ṣugbọn eyi mu pẹlu awọn iṣoro ti o baamu ti agbara agbara, gbigbọn ati ariwo.Fun idi eyi, awọn ifasoke cryogenic jẹ lilo ti ko wọpọ ni awọn ohun elo yàrá ti aṣa.
VI.Awọn ifasoke aspirator (NEG)
Ifasoke oluranlowo afamora jẹ ọkan ninu awọn ifasoke igbale ti a lo diẹ sii ni awọn ọdun aipẹ, anfani rẹ ni lilo pipe ti adsorption kemikali, ko si dida oru ati idoti eletiriki, nigbagbogbo lo ni apapo pẹlu awọn ifasoke molikula lati mu aaye awọn ifasoke sublimation titanium ati ion sputtering awọn ifasoke, aila-nfani ni idiyele giga ati nọmba to lopin ti awọn isọdọtun, nigbagbogbo lo ninu awọn eto pẹlu awọn ibeere giga fun iduroṣinṣin igbale tabi ifarabalẹ pupọ si awọn aaye itanna.
Ni afikun, bi fifa aspirator ko nilo asopọ ipese agbara afikun ti o kọja ibẹrẹ ibẹrẹ, o tun lo nigbagbogbo ni awọn ọna ṣiṣe nla bi fifa iranlọwọ lati mu iyara fifa soke ati mu ipele igbale naa pọ si, eyiti o le mu eto naa di irọrun.

Nọmba: Awọn titẹ iṣẹ fun awọn oriṣiriṣi awọn ifasoke.Awọn itọka brown fihan iwọn titẹ agbara iyọọda ti o pọju ati awọn ẹya alawọ ewe ti o ni igboya ṣe afihan iwọn titẹ iṣẹ ti o wọpọ.